Die Eigenschaften der Verwendung von Elektronenstrahlen zur Bearbeitung kleiner Löcher in der Maschinenindustrie

Die Elektronenstrahlbearbeitung erfolgt unter Vakuumbedingungen, wobei der fokussierte Elektronenstrahl mit extrem hoher Energiedichte mit sehr hoher Geschwindigkeit auf einen sehr kleinen Bereich auf der Oberfläche des Werkstücks trifft. Der Großteil seiner Energie wird in kürzester Zeit in Wärmeenergie umgewandelt, sodass das Werkstückmaterial im beaufschlagten Teil eine hohe Temperatur von mehreren tausend Grad Celsius erreicht, wodurch es zu einer lokalen Vergasung des Materials kommt und durch das Vakuum abgesaugt wird System. Derzeit können Löcher mit einem Durchmesser von weniger als 3 µm bearbeitet werden, was insbesondere für das Bohren vieler Teile im Bereich der Mikroelektronik von Vorteil ist. Es ist eine unverzichtbare Bearbeitungsmethode bei der Bearbeitung von Mikrolöchern. Eigenschaften der Elektronenstrahlbearbeitung ①Theoretisch können mit der Elektronenstrahlbearbeitung kleine Löcher mit einem Durchmesser von weniger als 1 µm bearbeitet werden. Gleichzeitig beträgt die Länge des dünnsten Teils nach der Fokussierung des Elektronenstrahls das Dutzendfache des Durchmessers seines Querschnitts und eignet sich daher für die Bearbeitung kleiner tiefer Löcher. ②Die Intensität und Position des Elektronenstrahls lassen sich leicht steuern Das Magnetfeld und das elektrische Feld ermöglichen eine einfache Programmierung der Steuerung und ermöglichen das automatische Hochgeschwindigkeitsbohren kleiner Löcher. ③ Beim Bohren kleiner Löcher mit einem Elektronenstrahl ist die Kraft gering, die Spannung und Verformung gering und kann bei sprödem Material verwendet werden Materialien, duktile Materialien, Leiter und Nichtleiter. ④ Die kleinen Löcher des Elektronenstrahls werden im Hochvakuum hergestellt. Es wird im Medium durchgeführt, vermeidet das Oxidationsphänomen bei der Luftverarbeitung fast vollständig und eignet sich besonders zum Bohren kleiner Löcher in leicht oxidierenden Materialien und Halbleitermaterialien mit extrem hohen Reinheitsanforderungen. ⑤Elektronenstrahlbohren erfordert Zehntausende Volt Beschleunigungsspannung und Pumphöhe. Vakuumgeräte sind komplizierter und teurer. Daher gibt es gewisse Einschränkungen in der Produktion und Anwendung. Derzeit wird es hauptsächlich im Bereich der Mikroelektronikindustrie eingesetzt. Zurück: Merkmale der Ultraschallbearbeitung bei der Bearbeitung kleiner Löcher